鹊影科技首席科学家熊诗圣教授受邀参加全球

鹊影科技首席科学家熊诗圣教授受邀参加全球科技研讨会

2018年7月29至31日，由上海科技大学与美国化学学会(简称ACS)共同主办的全球科技研讨会——“材料科学前沿”(ACS Publications Symposium: Innovation in Materials Science)在上科大报告厅成功举办。研讨会吸引了200余名来自世界各地的专家学者、科研人员和青年学子，他们围绕光子科学材料、先进纳米材料、能源材料、生物材料、环保材料等主题进行了深入的探讨。

武汉鹊影信息科技有限公司首席科学家、上海千人计划特聘专家、复旦大学信息科学与工程学院研究员、博士生导师熊诗圣教授出席会议并发表了题为《用于半导体制造的嵌段共聚物光刻技术(Block copolymer lithography)》的精彩演讲。

熊诗圣教授师从世界十大纳米科学家之一的美国工程院院士C. Jeffrey Brinker，曾在美国化学学会会刊、纳米学报、SMALL、美国光学学会会刊等顶级期刊上发表了多篇论文，并获得10余项中国发明专利、3项美国发明专利。

作为新一代光刻技术“达人”，熊诗圣教授在演讲伊始回顾了光刻技术的发展历史和技术瓶颈

。他谈到：摩尔定律发展到今天，面临着量子物理极限和制造难度指数级上升两方面的重大挑战。在“More Moore”和“More than Moore”两条路线争执不下的同时，半导体工业界仍然需要继续推进纳米加工的前沿，以满足高性能计算和高密度存储等方面的需求。

(上海千人计划特聘专家、武汉鹊影信息科技有限公司首席科学家 熊诗圣教授)

熊诗圣教授在报告中详细介绍了如何采用普通光刻形成的稀疏图案，引导嵌段共聚物的自组装，在达到热平衡状态之后，最终的缺陷率可以控制在/cm2以下。其中，10纳米节点的光栅图形，相应的边缘粗糙度可控制在2纳米左右，达到芯片级加工工艺的水平。

(十纳米节点自组装图案及刻蚀至硅片的结果。图中线条宽度为10nm)

在技术应用方面，熊诗圣教授展示了从电子束光刻开始，结合嵌段共聚物光刻和纳米压印全流程的6英寸制造工艺，成功实现2Td/inch2的全数字式磁存储。考虑到高分子合成领域的最新进展，未来三年内存储密度有望提高3倍以上。

此外，熊诗圣教授还提到，嵌段共聚物光刻技术尤其适合于制造鳍状场效应晶体管和X射线光学器件等，应用前景十分广阔。此技术可广泛运用于医学影像领域、智能化医疗设备中。

据了解，从2013年到2017年，国务院、发改委、国家食品药品监督总局、卫计委共发文12次，涉及医学影像行业的政策涉及医学影像设备、独立影像中心、线上影像平台、影像信息化等方面。随着我国医疗环境的不断改进和疾病群体的不断扩大，国内医学影像市场迅速扩张，吸引了越来越多的企业进入该领域，并不断加大科研投入。

目前，国内已有许多研究组纷纷展开嵌段共聚物光刻(亦称导向自组装或定向自组装)方面的研究。从发展战略的角度，熊诗圣教授呼吁同行们把焦点放到优化工艺流程(降低自组装的缺陷率，研究图形转移技术)上来，而不是一味追求5纳米以下分辨率。

熊诗圣教授表示：嵌段共聚物光刻技术的发展迫切需要学术界和工业界的紧密合作，才能尽快从国际半导体发展路线图进入生产实践。

最后，熊诗圣教授向现场参会者介绍了复旦大学微纳系统中心国际一流的十纳米以下级加工平台，他的演讲报告引起了William E Moerner教授(2014年由于在超分辨成像方面的杰出贡献获得诺贝尔化学奖)的关注，并在会后进行了深入探讨交流。

(William E Moerner教授聆听演讲报告时所作的笔记)

作为国内首家全力发展AI慢性病健康管理和专注AI人工智能芯片研发、设计的高科技企业，武汉鹊影信息科技有限公司积极响应国家大力发展医学影像和人工智能的号召，在首席科学家熊诗圣教授的带领和指导下，深入研究和开发了人工智能慢病健康管理系统。公司始终把强化高科技人才队伍建设和扩大行业影响力放在首位，努力实现医疗建设从“互联+”到“人工智能+”的创新与突破，为科技强国添砖加瓦，为人类健康尽心尽力，让世界见证中国的科技实力，见证中国崛起的力量!